KRI Ion Source 應(yīng)用領(lǐng)域：

無柵極等離子源技術(shù)

----End-Hall 離子/等離子源

有柵極離子源技術(shù)

----RFICP 離子源

----DC 離子源

電子源技術(shù)

----燈絲

----中空陰極 (Hollow cathode)

----等離子中和器

單機(jī)應(yīng)用

----直流電源 (DC power)

----射頻電源 (RF power)

有多個(gè)模組組成，模組的特性取決于功率、頻率、電壓、電流和控制方式，大多數(shù)模組都滿足 CE 和 CoHS 標(biāo)準(zhǔn)。

監(jiān)控：監(jiān)視器

穩(wěn)定輸出：設(shè)置的優(yōu)化

狀態(tài)診斷：用戶直接獲取

參數(shù)存儲(chǔ)：準(zhǔn)確保存

連續(xù)性和穩(wěn)定性

功率控制器能夠在緊急情況下比如載入高能量的等離子體、短路、電流過沖、電壓過沖和功率過沖的情況，實(shí)現(xiàn)保護(hù)功能。確保在運(yùn)行沉積和刻蝕工藝時(shí)進(jìn)行不間斷的操作。通過數(shù)顯的面板，可以即時(shí)觀測(cè)和控制工藝參數(shù)和狀態(tài)資訊。

KRI Individual Power Supply Controller 獨(dú)立的功率控制器

功率控制器可以單獨(dú)使用也可以集成到其它功率包中，能提供直流、交流和射頻功率。

AC Power 交流電源

交流電源輸出一個(gè)低頻的直流信號(hào)，適用于低阻抗負(fù)載，比如驅(qū)動(dòng)類似于燈絲這樣的發(fā)熱原件，通過大的功率加熱燈絲到發(fā)射熱電子的溫度。

交流電源比直流電源更有利于燈絲壽命的延長(zhǎng)

軟起功能有助于平穩(wěn)的提高燈絲溫度從冷起到電子發(fā)射的溫度