近幾年超大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)有了快速發(fā)展，對超純水的水質(zhì)也相應提出了更高的要求，超純水中所含雜質(zhì)的允許含量越來越低，同時需要控制的雜質(zhì)種類也越來越多。為了更好有效的去除各種雜質(zhì)，需要各種處理手段的綜合運用。

　　超純水處理設備分為三部分：預處理，初級處理和拋光精制處理。

　　1.預處理系統(tǒng)通常由過濾、殺菌和防氧化工藝組成；

　　2.初步處理系統(tǒng)主要由反滲透、離子交換器、膜脫氣、紫外設備等組成；

　　3.精制處理部分通常包括TOCUv、拋光混床、膜脫氣以及終端超濾裝置。

　　超純水處理設備的工藝優(yōu)勢:

　　1.具有一定的靈活性和調(diào)節(jié)余地，以適應水量的變化，管理方便、維修簡單，合理地、充分地考慮操作自動化，減少操作勞動強度；

　　2.設備選型兼顧通用性和先進性，運行穩(wěn)定可靠、效率高、管理方便、維修維護工作量少、價格適中；設計美觀、布局合理，與周圍設施統(tǒng)一協(xié)調(diào)考慮；

　　3.盡量采取措施減小對周圍環(huán)境的影響，合理控制噪聲、氣味，妥善處理與處置固體廢棄物，避免二次污染；

　　4.在系統(tǒng)整體設計中引入模塊化概念，將主體處理設施分成幾個并列運行的處理單元，可根據(jù)生產(chǎn)的實際情況以及實際水量的大小靈活運行，節(jié)省運行費用；

　　5.設備結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，便于安裝和維修，節(jié)約用地。

蘇州威特斯環(huán)�？萍加邢薰�司是歸國留學技術(shù)人員創(chuàng)辦的高新技術(shù)科技型企業(yè)，公司匯聚上海交通大學，上海復旦大學多名教授和高等院所作為技術(shù)后盾。