Novec™ 7200工業用化學液

· 清潔用的化學液 

Novec ™ 7200的沸點為76°C，其溶解力適用于氣相去污、濕式清潔和晶圓傳送盒FOUP(Front Opening Unified Pod)的凈化。此化學液能的低表面張力，可清潔輕型的臟污，像是微顆粒物質、氟素油、少量的油污和氟素高分子。Novec ™ 7200也可以跟其它溶劑搭配，用于清潔重臟污。 Novec ™ 7200不會破壞臭氧層(ODP值＝零)，且全球暖化潛值低 (GWP＝55)，大氣存留時間短（ALT＝0.77年）。且不被列為揮發性有機化合物(volatile organic compound ,VOC)。Novec ™ 7200 是被美國環境保護局認同的顯著新替代方案（U.S. EPAs Significant New Alternatives Policy (SNAP) program）。 

· 沉積用的溶劑 

Novec ™ 7200其低黏稠度及低表面張力的特性，提供了此化學液高潤濕性與易流動的性能，其產品表現與PF-5060DL很類似。能有效的分解全氟聚醚（PFPE）潤滑劑。 Novec ™ 7200 無毒性，不會破壞臭氧層(ODP值＝零)，且全球暖化潛值低 (GWP＝55)，大氣存留時間短（ALT＝0.77年）。 Novec ™ 7200具有較高的沸點(76°C)，可減少在氣相去污中，蒸氣的損失。較低密度可減少在潤滑機臺上容積固定時的添加量。 

· 熱傳導的化學液 

Novec ™ 7200的液態范圍很寛廣，溫度從 -138°C到76°C，可廣泛的適用于一般的工業。特別適用于熱傳導的制程。 Novec ™ 7200毒性低，不會破壞臭氧層(ODP值＝零)，且全球暖化潛值低 (GWP＝55 )，大氣存留時間短（ALT＝0.77年）。比 PFC 更環保。