半導體分立器件是組成集成電路的基礎,包含大量的雙端口或三端口器件,如二極管,晶體管,場效應管等。 直流 I-V 測試是表征微電子器件工藝及材料特性的基礎,通常使用 I-V 特性分析或 I-V 曲線來決定器件的基本參數。
分立器件 I-V 特性測試的主要目的是通過實驗幫助工程師提取半導體器件的基本 I-V 特性參數,并在整個工藝流程結束后評估器件的優劣。在半導體制程的多個階段都有應用,如金屬互連,鍍層階段,芯片封裝后的測試等。
普賽斯儀表 開發的半導體分立器件 I-V 特性測試方案,由一臺或兩臺源精密源測量單元( SMU )、夾具或探針臺、上位機軟件構成。以三端口 MOSFET 器件為例,配套以下設備:
兩臺 S 型數字源表
四根三同軸電纜
夾具或帶有三同軸接口的探針臺
三同軸 T 型頭
需要測試的參數:
輸出特性曲線
轉移特性曲線
跨導 gm
擊穿電壓 BVDS
需要儀器列表:
SMU 源表
探針臺或夾具
普賽斯上位機軟件
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