低溫等離子體一般用來處理VOC有機廢氣，是利用高壓放電時產生的高能電子和離子來分解廢氣分子，同時高能電子把氧分子分解成兩個氧原子，并與氧分子再次結合成臭氧。臭氧是強氧化劑，可以氧化有機污染物。水分子受轟擊分解成羥基自由基，也是強氧化劑，同樣可以氧化有機物。車間煙氣吸收設備 巖棉廠煙氣處理 車間煙霧收集裝置。
等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：
(1) 電場＋電子→高能電子
(2) 高能電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團
(3) 活性基團＋分子(原子)→生成物+熱
(4) 活性基團＋活性基團→生成物+熱
從以上過程可以看出，電子先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。
