低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，是氣體在外界能量作用下產生的包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。該技術是利用高壓脈沖電暈放電或介質阻擋放電過程中，等離子體內部產生極高化學活性的基團，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發生反應，終轉化為CO2、H2O或小分子等物質，從而達到凈化廢氣的目的。因等離子體中的電子平均能量在1eV～10eV，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。
主要反應過程如下:
電場 +電子→ 高能電子
高能電子 +污染物 → 活性基團（受激原子、受激基團、游離基團）
活性基團 + 氧氣 → 生成物+熱
活性基團 +活性基團→ 生成物+熱
廢氣由收集氣管收集，由風機送入FSD-DLZ低溫等離子體廢氣處理設備，經過濾后進入低溫等離子反應模組，高壓脈沖放電產生的大量的高能電子、離子和自由基等活性粒子，將廢氣氧化分解，凈化后的廢氣經排放管道達標排放。
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