隨著時代和科技的發展，廢氣處理工藝也經歷著不斷發展的過程。目前有機廢氣的凈化方法，從剛開始初采用的水洗法，逐步發展出一系列的方法并且已在工業生產獲得成功應用。按其工作原理，分為物理、化學、生物等凈化方法，即:
(1)熱力學方法
例如冷凝、吸收、吸附和膜分離等(吸附和吸收可以是化學或物理的)。
(2)化學方法
例如燃燒法，即氧化法(直接燃燒、熱力燃燒、催化燃燒、蓄熱式熱力燃燒)
(3)生化方法(也稱生物降解法或生物催化法)
例如:生物過濾、生化洗滌和生化膜分離等。
就環保、經濟而論，如果VOCs的價值較高，而且有可能回收，則應盡可能將其回收在利用，因此從這意義上講，有機廢氣的凈化方法也可分為:
(1)回收法
例如吸附分離法，冷凝法和膜分離法等。
