產品特點1.該設備生長溫度更低2.使用滑軌爐實現快速升溫和降溫，沉積速率快3.設備輝光均勻等效，均勻生長，成膜質量好4.支持外部真空規和壓力變送器5.支持智能進氣，根據需要設定不同的溫度，自動進氣，進氣定時間到后自動停止進氣6.支持云端數據存儲，隨時查看數據7.支持爐膛移動速度調節8.支持射頻電源根據外部工況條件自動啟動停止9.支持壓力恒定，壓力可以設定10.支持c壓保護，大壓力值可以設定，c過后系統自動進入保護
詳細信息多功能pecvd系統1
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鄭州邦達電氣有限公司
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